走査電子顕微鏡 　 日立 S-4500
分解能1.5nmの走査型電子顕微鏡です。低加速でも十分な解像度が得られ、試料のチャージや電子線によるダメージをうまくコントロールすることで満足のいく写真が得られます。 これまでのイオンスパッタ蒸着では高倍率にすると金属の粒子を見ることになり使用できません。こちらでは通常、イオンビーム蒸着を施していますが金属粒子はかなり細かく実際の使用には問題ありません。金属の回り込みという点に多少の問題は残されていますが、、、
この写真は10万倍で撮影したものです。
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