走査電子顕微鏡 　日立 S-900

分解能0.7nmの解像度を持つ高分解能の走査電子顕微鏡です。通常、イオンビーム蒸着を施した試料を観察していますが、インレンズ方式をとっていますので試料のサイズが限られてきます。また、フォーカスの深度が浅いために傾斜をうまく利用して写真撮影を行います。